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適用柔性材料PET、玻璃等基底材料上的導(dǎo)電氧化物刻蝕、剝離等。（1）設(shè)備型號(hào)：YLET1010MG （2）本設(shè)備系統(tǒng)由三大部分組成：主機(jī)、冷水機(jī)、抽塵機(jī)。 （3）適用柔性材料PET、玻璃等基底材料上的導(dǎo)電氧化物刻蝕、剝離等。 （4）加工幅面為：100*100mm。
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一、系統(tǒng)介紹激光刻蝕機(jī)
（1）設(shè)備型號(hào)：YLET1010MG
（2）本設(shè)備系統(tǒng)由三大部分組成：主機(jī)、冷水機(jī)、抽塵機(jī)。
（3）適用柔性材料PET、玻璃等基底材料上的導(dǎo)電氧化物刻蝕、剝離等。
（4）加工幅面為：100*100mm。
二、主要技術(shù)參數(shù)
序號(hào) | 項(xiàng)目名稱 | 技術(shù)參數(shù) |
1 | 設(shè)備型號(hào) | YLET1010MG |
2 | 激光器 | 納秒綠光激光器 |
3 | 波長(zhǎng) | 532nm |
4 | 功率 | 5W |
5 | 激光器頻率調(diào)節(jié)范圍 | 30K-100KHZ |
6 | 加工幅面 | 100*100mm |
7 | 聚焦光斑 | ≥50um（100mm幅面） |
8 | CCD抓靶精度 | ±10um |
9 | X/Y運(yùn)動(dòng)模組重復(fù)定位精度 | ±10um |
10 | 刻蝕最小線寬 | ≥50um（100mm幅面） |
11 | 最小線間隔距 | ≥50um（100mm幅面） |
12 | 刻蝕速度 | <3000mm/S |
13 | 主機(jī)設(shè)備尺寸 | 1050*700*1660mm(L*W*H) |
14 | 冷水機(jī)尺寸 | 580*290*520mm(L*W*H) |
15 | 抽塵機(jī)尺寸 | 600*500*800mm(L*W*H) |
16 | 主機(jī)設(shè)備重量 | 300KG |
17 | 主機(jī)額定功率 | 3000W |
18 | 可處理的文件格式 | 標(biāo)準(zhǔn)CAD版本DXF文件 |
PET上ITO刻蝕
ITO玻璃激光刻蝕
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